Réalisations

Dans la fabrication de semi-conducteurs, même de très faibles quantités d'ions métalliques, d'impuretés particulaires ou de contaminants organiques peuvent avoir des conséquences catastrophiques. Ces impuretés peuvent altérer les voies de transport des électrons au sein de la puce, augmenter la résistance et entraîner une production excessive de chaleur et une dégradation des performances. Elles peuvent également provoquer des courts-circuits et d'autres problèmes, rendant la puce inutilisable. Selon des recherches pertinentes, les pertes de rendement dues aux problèmes de pureté des réactifs chimiques dans le processus de fabrication des puces peuvent atteindre 20 à 30 %, ce qui constitue sans aucun doute un défi majeur pour l'industrie des semi-conducteurs, qui recherche une précision et un rendement élevés.

Le rôle clé des pompes à entraînement magnétique dans ce domaine

Tout au long du processus de fabrication des semi-conducteurs, les pompes à entraînement magnétique assurent la continuité du transport des réactifs chimiques. Leur fonctionnement continu et stable assure l'approvisionnement ponctuel des réactifs chimiques nécessaires aux différents processus, évitant ainsi les arrêts de production dus à des interruptions d'approvisionnement. Prenons l'exemple du procédé de dépôt de films : il est nécessaire d'alimenter en continu la chambre de réaction en gaz et liquides spécifiques. Le fonctionnement stable de la pompe chimique assure la continuité du processus de dépôt, permettant une croissance uniforme du film et garantissant les propriétés électriques et la fiabilité de la puce.

Pompe chimique très prisée dans l'industrie des semi-conducteurs, la pompe à entraînement magnétique se distingue par sa conception unique sans garniture mécanique. Elle utilise un accouplement magnétique pour la transmission de puissance, et l'arbre de la pompe et celui du moteur interagissent par force magnétique, sans nécessiter de dispositifs d'étanchéité mécaniques traditionnels. Cette conception entièrement étanche protège les réactifs chimiques comme une solide « armure », éliminant ainsi tout risque de fuite de fluide. Dans le processus de fabrication des semi-conducteurs, même de très petites fuites peuvent entraîner de graves problèmes de pollution, et l'émergence des pompes magnétiques résout parfaitement ce danger caché. Lors du transport de résine photosensible, la pompe magnétique assure un écoulement stable et sans fuite de la résine photosensible dans une conduite fermée, garantissant ainsi sa grande pureté. Lors du transport d'acide fluorhydrique de haute pureté de qualité électronique, les caractéristiques entièrement scellées de la pompe magnétique évitent efficacement le contact entre l'acide fluorhydrique et l'air extérieur, empêchent la volatilisation de l'acide fluorhydrique et les dommages à l'environnement et au personnel qui peuvent être causés par des fuites, et garantissent en même temps que la pureté de l'acide fluorhydrique n'est pas affectée, offrant une garantie fiable pour les processus de gravure ultérieurs.